SEMI EMO Switches

Basierend auf der umfassenden Not-Aus-Produktreihe von IDEC ermöglichen diese SEMI EMO-Schalter den Aufbau einer Not-Aus-Funktion in Ihrer Anlage. Die Not-Aus-Funktion wird in einigen Branchen wie der Halbleiterindustrie, der Flachbildschirmanzeige (FPD) und mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) gefordert.

Gemäß dem Standard SEMI S2-0706, 12.1, soll die Not-Aus-Funktion (EMO) den gefährlichen Teil der Maschine unterbrechen, ohne andere sicherheitsrelevante Geräte (Rauchmelder, Gas-/Wasseraustrittsmelder, Druckmessung ...) außer Betrieb zu setzen.

Hauptmerkmale

• Sichere Trennfunktion (X-Serie)
• Zwei Arten der Rückstellung – Ziehen und Drehen (X-Serie)
• Vollständig qualifiziert und zertifiziert mit Schutzabdeckungen